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電路板油墨 光刻膠 特種油墨

半導體照明用光刻膠

 

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1.特別說明:

具體型號說明書及相關檢測報告請前往下載中心下載。

2.應用領域:

半導體照明領域的具體應用包括:圖案化藍寶石襯底(PSS)制作;LED芯片制作等。

3. 技術參數:

半導體照明用光刻膠主要技術參數:

半導體照明用光刻膠系列主要包括:RD-2000、RD-4000、RD-6000、RD-NL700等系列,不同系列光刻膠的主要技術參數如下:

序號

產品序列

主要參數

1

RD-2000系列


水分:<0.5%;顆粒(0.5um顆粒,個/ml)<100;痕量金屬(K、Na、Fe,ppb):<300;膜厚:1.0~3.5um;分辨率:0.8um(g-line)


2

RD-4000系列


水分:<0.5%;顆粒(0.5um顆粒,個/ml)<100;痕量金屬(K、Na、Fe,ppb):<50;膜厚:1.0~4.5um;分辨率:0.4um(i-line曝光)


3

RD-6000系列


水分:<0.5%;顆粒(0.5um顆粒,個/ml)<100;痕量金屬(K、Na、Fe,ppb):<100;膜厚:3.0~15um;分辨率:0.65um(i-line曝光)


4

RD-NL700系列


水分:<0.5%;顆粒(0.5um顆粒,個/ml)<100;痕量金屬(K、Na、Fe,ppb):<500;膜厚:1.8~4.5um;倒梯形角度:45~80°;分辨率:1um(g+h+i曝光)


半導體照明用光刻膠主要技術參數:

半導體照明用光刻膠系列主要包括:RD-2000、RD-4000、RD-6000、RD-NL700等系列,不同系列光刻膠的主要技術參數如下:


序號

產品序列

主要參數

1

RD-2000系列


水分:<0.5%
顆粒(0.5um顆粒,個/ml)<100
痕量金屬(K、Na、Fe,ppb):<300
膜厚:1.0~3.5um
分辨率:0.8um(g-line)


2

RD-4000系列


水分:<0.5%
顆粒(0.5um顆粒,個/ml)<100
痕量金屬(K、Na、Fe,ppb):<50
膜厚:1.0~4.5um
分辨率:0.4um(i-line曝光)


3

RD-6000系列


水分:<0.5%
顆粒(0.5um顆粒,個/ml)<100
痕量金屬(K、Na、Fe,ppb):<100
膜厚:3.0~15um
分辨率:0.65um(i-line曝光)


4

RD-NL700系列

水分:<0.5%

顆粒(0.5um顆粒,個/ml)<100

痕量金屬(K、Na、Fe,ppb):<500

膜厚:1.8~4.5um

倒梯形角度:45~80°

分辨率:1um(g+h+i曝光)

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